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| PLASMA CHAMBER | 적용공정 | BACKBONE | CHAMBER수 | PROESS | ESC | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| MAXIS200L | OXIDE ETCH POLY Si ETCH NITRIDE ETCH 3,5족 화합물 |
NeoGENⅡ NeoGEN NeoS |
3 1 1 |
FACE UP | CERAMIC ESC | 고온 CHAMBER optional 4,6,8인치 |
| MAXIS200LM_ RADIION200 | METAL ETCH | NeoGENⅡ NeoGEN |
3 1 |
FACE UP | CERAMIC ESC | SAW FILITER |
| MAXIS300LA | PSS ETCH GaN ETCH |
1 | FACE UP | TRAY TYPE | 4,6인치 LED | |
| MAXIS880LDR | PSS ETCH ISO ETCH |
NeoSYS | 2 | FACE DOWN | TRAY TYPE | 4,6인치 LED |