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About SEM Business

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세계 1 위의 LED Etcher 공급과 반도체 제조 장비 시장 개발하고 있습니다.

반도체 및 이를 기반으로 한 MEMS, LED, 광소자 등이 세상을 더 스마트하게 리딩하는 환경에서 기가레인 반도체장비사업부는 이들 소자에 핵심인 공정/장비운영/장비개발 등의 혁신적인 기반 기술을 바탕으로 고 품질의 Etching장비를 개발, 공급하고 있고 최근 Nano-pattern을 구현하는 Nano-imprinter를 상용화하고 이들 Nano- imprinter와 Etching장비를 통해 Display 분야 미래 기술인 WGP를 실현케 하는 등 IDM(Integrate Device Manufacturer)사에 최고의 기술을 제공하고 있습니다.

기가레인 반도체장비사업부는 국내 최초의 DRIE etcher, 세계시장 1위 점유율을 가지는 ICP Etcher 그리고 세계 최초로 품질과 양산성을 동시에 확보하고 시장에 진입한 Nano-imprinter 기술 등을 바탕으로 보다 고부가가치의 장비와 혁신적인 기술의 공급을 확대하고 있습니다.

기가레인 반도체장비사업부는 수십년간 Etching과 Imprinting의 공정, 장비 그리고 Material을 개발하고 이를 자체 보유 Lab을 이용하여 양산과 동일한 환경에서 평가하고 분석하여 지속적으로 upgrade함으로써 세계1위 시장 점유율을 가지는 Etching장비를 보유하게 되었고 품질과 양산성을 동시에 확보한 세계 유일의 Resin Mold용 Imprinter를 고객사에 공급하고 있습니다.

기가레인 반도체장비사업부는 창조적이고 도전적입니다. 기가레인과 함께하면 완성도 높은 새로운 기술로 고 품질의 제품을 만들 수 있는 기회를 제공받을 수 있습니다.

세계 최초

  • NANO IMPRINTER AUTO장비 개발완료 및 시장진입

국내 최초

  • DRIE 8인치 개발
  • DRIE 12인치 개발
  • RtP, WGP 장비 DISPLAY 시장진입

세계 유일

  • 세계1위 시장 점유율을 가지는 에칭장비를 보유
  • Resin Mold용 Imprinter를 고객사에 공급

기가레인 반도체장비사업부는 수십년간 에칭과 IMPRINTING의 공정, 장비 그리고 MATERIAL을 개발하고 이를 자체 보유 Lab을 이용하여 양산과 동일한 환경에서 평가하고 이를 분석, 지속적으로 upgrade함으로써 세계1위 시장 점유율을 가지는 에칭장비를 보유하게되었고 품질과 양산성을 동시에 확보한 세계 유일의 resin Mold용 Imprinter를 고객사에 공급하고 있습니다.

기가레인 반도체장비사업부는 창조적이고 PIONEER 지향적입니다. 기가레인과 함께하면 완성도 높은 새로운 기술로 고 품질의 제품을 만들 수 있는 기회를 제공할 수 있습니다.

Timeline

2020
  • Nano Imprinter (Full automation) 장비 첫 수주

2019
  • Nano device Foundry launching High Performance ICP Etcher(200L-Gen2) 출시

2018
  • NANO IMPRINTER AUTO장비 개발완료 및 시장진입(세계최초)

  • ETCHER관련 IP 110건 보유

  • IMPRINTER관련 IP 31건 보유(자체+공동 특허)

  • High Performance DRIE Etcher (DRIE Gen3) 출시

2017
  • RtP, WGP 장비 DISPLAY 시장진입(국내최초)

  • DRIE 12인치 개발(국내최초)

2013
  • NANO IMPRINTER 공동개발(일본)

  • 2012
  • LED시장에서 SAPPHIRE ETCHER 세계시장 점유율 1위

  • 2009
  • ICP ETCHER, LED 시장 진출

  • 2007
  • DRIE 8인치 개발(국내최초)

  • 2005
  • CCP OXIDE ETCHER 개발(VHF SOURCE)

  • 2000
  • RIE ETCHER 개발

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