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RF Device

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사물 인터넷 (IOT), 자율주행 자동차, 인공지능 (AI) 등을 구현하는데 필수적인, 초고속 RF 소자의 개발 및 상용화가 진행되고 있습니다. 특정 소수의 업체에서만 개발 생산되고 있는 RF Device는 선진 한국으로 가는 핵심 부품입니다.
기가레인은 우수한 공정특성의 Dry etcher를 보유하고 있어, 특수한 소재의 정밀 가공이 가능하고, 뛰어난 주파수 응답특성을 제공하는 선진장비를 보유하고 있습니다.

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Performance
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  • - Use of Repeatable Soft Mold
  • - Lower CoC & CoO
  • - Very small foot print against Photo Litho Equipments
  • - Comet-free
Applied Device and Process Capability

  • 이미지출처: New Electronics SAW Filter(Surface Acoustic Wave) - Piezoelectric Substrate(LT, LN)에 특화된 ESC 기술 - 우수한 Metal Pattern Printability - LT, LN 웨이퍼상 KrF/ArF stepper 해상도(50 ~ 300nm) 의 고정밀 IDT pattern etch resist를 imprint 공정으로 웨이퍼 전면 구현가능

  • 이미지출처: New Electronics BAW-SMR(Bulk Acoustic Wave-Surface Mounted Resonator) 다양한 Piezoelectric Film Etching Capability

  • 이미지출처: New Electronics FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator) - 다양한 Piezoelectric Film Etching Capability - Air Cavity Etching Capability

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