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NANO IMPRINTER

LED, OLED, LCD, BIO등 여러 분야에서 NANO PATTERN의 필요성이 증가하고 있습니다.
하지만 반도체산업 이외에는 Photo Lithography 장비(KrF, ArF)를 도입하여 Nano Pattern을 만들기에는 장치가격, 품질, 생산성 측면에서 적합하지 않습니다.
기가레인은 수년간 도시바 머신과 Imprinter 기술을 공동개발했으며 이를 더욱 첨단화하여 Master Mold부터 생산Mold까지
자체 청정실에서 품질관리하에 제작함으로써 고품질 뿐만 아니라 고생산성을 고객에게 제공하고 있습니다.
Features
Customize

20㎚가지 구현되는 NANO PATTERN은 그 응용 분야가 확대되고 있습니다.

* 좌측 스크롤 하세요. 표 전체보기

IMPRINTER MODEL IN-LINE 대응기판 생산MOLD RESIN 비고
WAFER 대응 CITUS6000 COATER ~6인치 REPEATABLE
RESIN MOLD
공급가능 LED
기판 대응 ALTUS6000 INKJET PRINT ~5G REPEATABLE
RESIN MOLD
공급가능 OLED/LCD
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