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NANO IMPRINTER

NANO PATTERN을 구현하고자 하는 니즈는 계속되어왔습니다. 그러나 KrF, ArF등의 고가 장비를 이용하는 반도체와는 달리
LED, OLED/LCD 또는 BIO등의 산업에 적한합 장비가 품질과 생산성 저하등의 문제로 적용에 어려움이 있었습니다.
기가레인은 도시바 머신의 IMPRINTER 기술을 수년간의 공동개발을 통해 더욱 첨단화하여 MASTER MOLD부터 생산MOLD까지
자체 청정실에서 품질관리하에 제작함으로써 고품질 뿐아니라 고 생산성까지 확보하여 고객에 대응하고 있습니다.
Features
Customize

20㎚가지 구현되는 NANO PATTERN은 그 응용 분야가 확대되고 있습니다.

* 좌측 스크롤 하세요. 표 전체보기

IMPRINTER MODEL IN-LINE 대응기판 생산MOLD RESIN 비고
WAFER 대응 CITUS6000 COATER ~6인치 REPEATABLE
RESIN MOLD
공급가능 LED
기판 대응 ALTUS6000 INKJET PRINT ~5G REPEATABLE
RESIN MOLD
공급가능 OLED/LCD
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