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SAW Filter Etcher

SAW Filter Etcher는 SAW filter와 oxide etch 제조에서 가장 중요한 공정 인 금속 에칭을 수행합니다. 고품질의 SAW filter 필터를 얻기 위해 식각을 할 때 안정적이고 낮은 공정 온도를 유지하고 타깃 표면의 손상을 최소화합니다.

4-6 inch saw filter substrate(piezielectric material)

ICP Etcher & remote plasma asher in-line system

Special ESC

EDA

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