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Nano

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迄今为止的NANO Patterning技术集中于利用超高价设备将半导体元件最小化。
Gigalane则开发出确保高品质、量产性的Nano patterning设备，基于自动压印设备、模具和压印树脂技术，帮助应用于LED、LCD、Bio、医疗技术、Ubiquitous等领域至今无法体现的nano application。

Related Products
  • - 2inch-8inch, Nano to Micro Pattern
  • - LED, Display, Other Electric Devices
  • - Flexible Resin Mold
  • - Coater in-line or optional
Performance
  • - 20㎚ Pattern Resolution
  • - Use of Repeatable Soft Mold
  • - Lower CoC & CoO
  • - Very small foot print against Photo Litho Equipments
  • - Comet-free
Applied Products

制作Wire grid polaizer时，利用imprint的resist patterning和metal etcher体现metal pattern。
我们使用imprint工艺取代高价的ArF stepper ，可以以低成本和高质量水平实现50nm级的line and space图案。
通过对WGP图案中的metal或无机氧化物图案的高质量etching工艺能力，体现高质量的产品

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Core Solutions

请了解一下有关SEM Business的核心解决方案吧！