通过稳定的plasma形成，提供了确保均匀性和再现性的工程结果。

高电阻ESC、低电阻ESC、单极ESC、正极ESC、Mecanical chuck

为了刻蚀多种材质、符合产品的形状，可实现Recipe tuning因子Ramping（Up，Down）功能。
为了卓越的选择费和刻蚀适合产品的形状而提供强大的Pulsing功能。
研究、批量生产时，为节省时间，提供工程预约功能。

Metal工艺后，可以防止腐蚀的 H₂O Vapor功能，可以进行Photo resist的去除工程。