CCP Type Plama Source，粒子间拥有巨大能量（有利于单一物质蚀刻）
低维护费用及稳定性、量产性优秀

应用FRC（Flow ratio Controller）调节混搭工艺气体的Center和Edge之间的比率，有利于确保均匀性。

Center和Edge的Back He可以单独控制，有利于确保均匀性

为了形成High aspect ratio的结构，可进行Recipe tuning因子的Ramping（Up，Down）功能
为了卓越的选择费和刻蚀适合产品的形状而提供强大的Pulsing功能。
研究、批量生产时，为了节省时间，提供工程预约功能。